化妝品無(wú)塵車(chē)間,電路板,醫藥行業(yè)無(wú)菌潔凈室,恒溫恒濕
買(mǎi)家須知二、控管項目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3、溫度和濕度之控制。
4、壓力之調節。
5、有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之氣密性。
7、靜電之防制。
8、電磁干擾預防。
9、安全因素之考慮。
10、節能之考量。
三、分類(lèi)亂流式(TurbulentFlow)
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
定義:氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。
原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬(wàn)級凈化級別)。
特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)
?。?)自?xún)魰r(shí)間:是指潔凈室按設計換氣次數開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室,室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時(shí)間。1,000級希望不超過(guò)20min(分鐘)(可取15min計算)10,000級希望不超過(guò)30min(分鐘)(可取25min計算)100,000級希望不超過(guò)40min(分鐘)(可取30min計算)
?。?)換氣次數(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設計)1,000級43.5—55.3次/小時(shí)(規范:50次/小時(shí))10,000級23.8—28.6次/小時(shí)(規范:25次/小時(shí))100,000級14.4—19.2次/小時(shí)(規范:15次/小時(shí))
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單,運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。
缺點(diǎn):建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易,運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn):構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。
復合式(MixedType)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴充容易;B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
潔凈工作臺:等級Class1~100級。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運用。
四、氣流的流動(dòng)氣流的重要性
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.%之多,因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無(wú)法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
風(fēng)速的控制
潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區域,易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準之時(shí),能以最適當的風(fēng)速供應,以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無(wú)法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì )延著(zhù)壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響因素
影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn),亦應列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn),應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區內部流向作業(yè)區,而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
潔凈室內的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
五、潔凈室之構成
潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:
(1)天花板系統:包括吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。
(2)空調系統:包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等。
(3)隔墻板(Partitionalwall):包括窗戶(hù)、門(mén)。
(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈室之建筑主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構造,必須滿(mǎn)足如下之條件:
A.不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;
B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著(zhù)粒子;
C.吸濕性??;
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高;
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